Miks kasutatakse alumiiniumi pooljuhtide ühendustes?
Alumiiniumi on ajalooliselt soositud ühenduste jaoks, kuna see on hea elektrijuhtivuse ja ühilduvuse tõttu räni . -ga, seda on lihtsam ladestada ja mustrit olla lihtsam võrreldes teiste metallidega, nagu vask, varajases pooljuhtide protsessides . alumiiniumvormid on omavahel seotud ja 2}. Tehnikad tegid selle domineerivaks kuni 1990. aastate lõpuni ., aga vask asendas selle hiljem täpsema sõlme jaoks madalama takistuse . tõttu
Kuidas ladestatakse alumiinium pooljuhtide tootmises?
Füüsiline aurude sadestumine (PVD), eriti pritsimine, on alumiiniumist sadestumise esmane meetod . See tehnika tagab ühtlase õhukese kile, millel on reguleeritud paksus räni vahvlitel {. alumiinium on sageli aegunud väikese koguse abil räni või koerte abil, et parandada elektromigreerimisvastaseid resistentseid} {2} (CVD) kõrge aspektisuhte struktuuride jaoks . postitusjärgne lõõmutamine suurendab adhesiooni ja vähendab pindade defekte .
Millised on alumiiniumi kasutamise väljakutsed tänapäevastes pooljuhtides?
Alumiiniumi kõrgem takistus võrreldes vasega suurendab RC viivitusi täiustatud sõlmedes . elektromigratsiooni-aatomilise nihke korral praeguse CAN-i korral põhjuse põhjusel ühenduse ühenduse rike aja jooksul . tööstus nihkus vase DamaScane protsessidele alamrühmadele {{4} nmologies nende jaoks {{{{{{{{{{{ Räni mittevastavus võib esile kutsuda pingega seotud töökindluse probleemid ., vaatamata sellele on see kasutusel pärandseadmete ja konkreetsete rakenduste jaoks, näiteks Bondi padjad .
Miks kasutatakse alumiiniumi ikkagi pooljuhtide sidemete jaoks?
Alumiiniumsidemetega padjad pakuvad suurepärase haardumise kuld- või vasksidemetega juhtmetele . Need moodustavad loodusliku oksiidikihi, mis kaitseb pakkimise ajal korrosiooni eest . alumiiniumist elastsus, aitab absorbeerida mehaanilist pinget.. {kompenseeritavus traditsiooniliste konventsioonidega {{2} {kompenseeritavus {kompenseeritavus. säilitage ühilduvuse pakendamise alumiiniumpadjad .
Kuidas interakteerub alumiinium laastudes dielektriliste materjalidega?
Alumiiniumi reaktsioonivõime nõuab tõkkekihite (E {. g ., titanium nitriid), et vältida difusiooni dielektrikateks . kehv adhesioon räni dioksiidile, mis tingib alamkaleid {... Ühendused . pinnatöötlused nagu plasmapuhastus parandage liidese kvaliteeti . Need interaktsioonid ajendasid vase/tantalum tõkete kasutuselevõttu uuemates tehnoloogiates .
